石墨烯材料微加工

来源:

奕力科技

发布时间:

2022-11-15

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石墨烯独特的二维蜂窝状晶体结构使其具有优异的光学、电学、力学特性,在材料学、微纳加工、能源、生物医学等领域具有重要的应用前景,被认为是一种未来革命性的新材料。传统制造石墨烯的方法有机械剥离法、氧化还原法、化学气相沉积法等。而通过飞秒激光技术制备和加工石墨烯材料,成为目前研究的热点。

通过飞秒激光直写工艺在玻璃基底上加工出石墨烯薄膜的不同微纳结构。飞秒激光的高能量密度可使基底快速升温,从而加快石墨烯的生长速度。而传统退火工艺无法实现这种石墨烯的合成工艺。飞秒激光加工石墨烯材料的高精度、无污染、易操作等优点使其在集成器件、电子信息等领域具有良好的应用前景。

 

图 石墨烯薄膜的不同微纳结构