强场物理领域
来源：
奕力科技
发布时间：
2026-08-17
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高次谐波极紫外光源产生
高稳定性HHG - EUV光源的光路。1030 nm飞秒激光经 BBO 倍频后产生515 nm激光。该515 nm激光耦合至光纤展宽系统，经啁啾镜压缩至25.3 fs。最终将515 nm激光聚焦至气体池，生成由光栅光谱仪检测的EUV光束。BBO:BaB2 O4 ；PD:光电二极管;CM:啁啾镜 。
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(左) 由距离HHG生成位置1米处的CMOS相机记录的30-60 nm EUV光束轮廓。取强度位置1/ e2 时，水平和垂直方向的全发散角分别 为3.35 mrad和3.04 mrad;(右) 对12小时时间段内的平均功率进行长期测量(结果归一化处理），EUV激光功率在12小时内的强度稳 定性均方根偏差值为1.95%
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