强场物理领域

来源:

奕力科技

发布时间:

2026-08-17

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高次谐波极紫外光源产生
 
测量的EUV光谱及对应的功率比。(黑色实线表示使用200 nm铝膜测得的EUV光谱,红色数字标记了四个谐波峰的功率比,蓝色虚线是250 nm锆膜在25-60 nm波长范围内EUV光的透射曲线,该曲线用于校准46.8纳米处的光谱)。
(光源:YactoFiber)

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